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    支持7nm!高端DUV光刻機可出口后 ASML加快訂單處理

    2023-03-13 08:11 · 稿源: 快科技

    ASML上周已經(jīng)聲明,高端DUV光刻機可以出口,而這也會讓他們加快處理相應的訂單。

    所謂浸沒式光刻機,屬于193nm(光源)光刻機(分為干式和浸沒式),可以被用于16nm至7nm先進制程芯片的制造,但是目前也有被業(yè)界廣泛應用在45nm及以下的成熟制程當中。

    ASML公司官網(wǎng)信息顯示,該公司主流的DUV光刻機產(chǎn)品共有三款設備:TWINSCAN NXT:1980Di,TWINSCAN NXT:2000i和TWINSCAN NXT:2050i,其中2000i和2050i兩款是公司在聲明所指的產(chǎn)品。

    生機!支持7nm的高端DUV光刻機可以出口:ASML今年要在中國銷售162億元

    理論上NXT:1980Di依然可以達到7nm,只是步驟更為復雜,成本更高,良率可能也會有損失,晶圓廠用這一臺光刻機,大多是生產(chǎn)14nm及以上工藝的芯片,很少去生產(chǎn)14nm以下的工藝,因為良率低,成本高,沒什么競爭力。

    之前,該公司2022年其凈銷售額為212億歐元,毛利率為50.5%,2022年底未交付訂單創(chuàng)下歷史新高,達404億歐元。當年總共銷售317臺新光刻機,較前一年增長31臺,此外還出貨了28臺二手光刻機。

    對于今年的表現(xiàn),ASML表示,將會加快對一些訂單的處理,特別是高端DUV光刻機系列,以此來保證公司業(yè)績強勁增長。

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